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半导体行业在线解决方案
作者: 来源: 发布时间:2023-11-28 标签:公司新闻行业资讯

一.系统简介
 1. 系统名称: 洁净度多点实时监测系统
 2. 采用“洁净度定点环境设备实时监测系统”的必要性: 生产环境的洁净程度对制药或电子行业有着至关重要的作用。 空气中的污染物质会使药品或电子产品受到不良影响,甚至改变 性能。危害药品或电子产品质量的污染物质,除了与其他工业洁 净厂房一样,主要是悬浮在空气中的粒子外,还有依附在粒子上 的微生物。尘埃粒子不仅会污染产品而且也是细菌附着的载体, 尘埃的多少往往标志着细菌等微生物的多少。因此,空气中尘埃 粒子的数量和分布情况与环境的洁净程度有很大的关系。 目前,药厂的监测方法一般都是定期的人工巡检,可采用手持式 或台式单台粒子计数器。


其存在以下缺点:
 1)人工监测将给洁净厂房带来额外的人员和设备,增加了洁净负 荷。人 体代谢约表皮细胞和设备带入的污染物,会影响洁净厂房的洁净 度而且还会使监测的数据偏离实际运行的情况。
 2)人工监测缺乏采样点和采样时间的固定性。在手工操作下,前 后两次采样点的位置很难保证在同一点,采样的时间也不能保证 在不同班次或日期的同一个相对或绝对时刻。因此,监测数据之 间很难产生相对的联系,没有可比性,不利于判断系统运行的长 期趋势。
3)人工监测所取得的数据在生成报告时缺乏一致性和连续性,而 且需要转录或其他处理,往往会造成人为的错误。
4)人工巡检的检测报告是滞后的结果,即使发现了问题,但是环 境污染造成的经济损失已不可弥补。
5)人工监测是一项强度比较高的劳动,将耗费大量的人力资源。 在生产过程中,环境的情况往往是变化的,原材料的进出、 人员的更换以及产品的变化都将对厂房的洁净程度有所影响。往 往在一个班次开始时环境是满足要求的而在结束时发现粒子数 超出了标准。由于人工监测无法提供连续监测数据,因此无法估 计系统是在何时偏离了规定工况,更无法估计产品的质量情况。 这就违背了保证洁净室空气质量,进而提高产品质量的初衷。 而洁净度定点环境设备实时监测系统避免了人工监测的种种 缺陷。它是将多台远程遥控粒子传感器安装在各个所需的采样点。 分别分布在各处的粒子传感器随时测量被采样的空气,并将测量 结果通过数据线和接口传送到计算机。若配上环境探头(如:温 度,相对湿度和压差探头), 还可以通过计算机得到各个测量 点的环境参数值。这样一来, 计算机同时可以显示各点的粒子 计数值,温度,湿度和压差。
 3. “洁净度定点环境设备实时监测系统”的功能:
 1)可以连续的测量各取样点的洁净度,使整个生产过程的每一 时刻的环境情况得到监测。
 2)在同一采样点,连续的监测将会建立起生产过程中监测值典 型基线,根据基线可以经验地确定报警极限和动作限。
 3)由于监测到的数据在时间和空间上都具有固定性,所以,数 据之间有可比性和参考性,可以在各参数间建立起相互的联 系,能提供系统运行长期趋势的分析。
 4)可以系统、方便地记录和整理监测数据,避免了繁杂的劳动 和可能出现的错误。
 4. 系统示意图简述: (示意图见下一页) 示意图描述:多台粒子传感器分别置于各测量点处,每一个 粒子传感器负责一个测量点的监测。粒子传感器引出的线组和采 样管分别与对应墙壁接口板的相应的插孔相连。气泵与各接口板 的采样管插孔相连,负责提供各粒子传感器采样的动力;而各线 组间插孔则与电源和RS-485接口线相连,以提供电源的动力和数 据的传输。最后,RS-485 线经过RS-232/RS-485 转换器与计算 机相连。这样通过计算机可以控制采样和记录监测数据。在这种 方式下,可以对多个测量点进行连续的采样和监测。因此又称为 “24-7”监测系统,“24”指每天24 个小时,“7” 指每周7天,形容 该监测系统是连续不断的实时监测。
 5. 发展趋势:该系统在欧洲(EU GMP)和美国(FDA)是尤为提倡的, 尤其是针对一些核心区的洁净度必须进行连续监测。

 二. 系统示意图

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三.系统组合
 1. 洁净度监测部分 1-1.粒子传感器: 1-2.自净过滤器:
 2. 计算机控制部分 2-1.控制软件: 2-2. 控制计算机:工业计算机(推荐)或家用计算机
 3. 线路连接部分 3-1.空气流连接部分:Vacuum Pump ( 泵),PVC Pipe (泵PVC 管), Sample Tubing (采样管),Plate (接口板) 3-2. 信号连接部分:RS458/RS232 Converter (RS485-RS232 转 换器) , Communication Cable (信号连接线),RS485 Cable (RS458 连接线),Plate (接口板) 3-3. 电源动力连接部分:Power Supply(电源供电箱),AC/DC Supply (电源转换器),Power Cable (电源连接线), Plate(接 口板)
 4.报警监测部分 4-1.PLC + Alarm light with Audible Alarm 4-2.PODS + Alarm light with Audible Alarm
 5.环境参数监测部分 5-1.Relative Humidity/Temperature Sensors ( 相对湿度/温 度探头) 5-2. Differential Pressure Sensors (差压探头)

 四.服务
 1. 销售服务: 提供附件: 现场培训:
 2.售后保修服务:所有售出主机及所有附件提供12 个月免费(包括 备件及人工)保修。易耗品,人为损坏,使用不当不在保修范围内。
 3.售后校正服务: 终身负责粒子计数器的每年定期校正服务。 校正报告:具有可追溯性
 4.售后维修服务: 维修费用:
1). 在保修期内, 免费提供非人为造成的仪器及附件的 损坏。
2). 超出保修期, 有偿提供仪器及附件的维修服务。
响应时间:1). 在接到用户维修要求后在8 小时内给出简单的故障 诊断和解决方法指导用户排除故障。
                 2).若在现场不能解决,需在我公司实验室进行维修服务。


四.资料


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